チタンプレートターゲット
チタンターゲット: チタン合金のビレット、または板を使用してチタンターゲットに加工します。工業用純チタンは化学用純チタンに比べて不純物含有量が多いため、強度と硬度がわずかに高くなります。その機械的および化学的特性はステンレス鋼と同様です。純チタンはチタン合金に比べて強度が高く、耐酸化性にも優れています。オーステナイト系ステンレス鋼よりも優れていますが、耐熱性が劣ります。TA1、TA2、TA3の順に不純物含有量が増加し、機械的強度、硬度は増加しますが、プラスチック靱性は順に低下します。
• チタンプレートターゲット: グレード1、グレード2、グレード5、グレード5、グレード7、グレード9、グレード11、グレード12、グレード16、グレード23など
• 種類：丸ターゲット、パイプターゲット、プレートターゲットなど
• 寸法:60/80/120(W)×6/8/12(T)×519/525/620(L)&60-800(W)×6-40(T)×600-2000(L)カスタマイズされた
・S表面:光沢面または酸洗面
• アプリケーション: 半導体分離装置、フラットパネルディスプレイ、蓄積電極膜、スパッタリングコーティング、ワーク表面コーティング、ガラスコーティング業界などで使用されます。
| チタン合金材料の通称 | ||
| グループ1 | UNS R50250 | CP-Ti |
| 2年生 | UNS R50400 | CP-Ti |
| グループ4 | UNS R50700 | CP-Ti |
| 7年生 | UNS R52400 | Ti-0.20Pd |
| G9 | UNS R56320 | Ti-3AL-2.5V |
| G11 | UNS R52250 | Ti-0.15Pd |
| G12 | UNS R53400 | Ti-0.3Mo-0.8Ni |
| G16 | UNS R52402 | Ti-0.05Pd |
| G23 | UNS R56407 | Ti-6Al-4V ELI |
◆ チタン合金の化学組成 ◆
| 学年 | 化学組成、重量パーセント (%) | ||||||||||||
| C (≤) | O (≤) | N (≤) | H (≤) | Fe (≤) | Al | V | Pd | Ru | Ni | Mo | その他の要素 最大。それぞれ | その他の要素 最大。合計 | |
| グループ1 | 0.08 | 0.18 | 0.03 | 0.015 | 0.20 | — | — | — | — | — | — | 0.1 | 0.4 |
| 2年生 | 0.08 | 0.25 | 0.03 | 0.015 | 0.30 | — | — | — | — | — | — | 0.1 | 0.4 |
| グループ4 | 0.08 | 0.25 | 0.03 | 0.015 | 0.30 | — | — | — | — | — | — | 0.1 | 0.4 |
| グループ5 | 0.08 | 0.20 | 0.05 | 0.015 | 0.40 | 5.56.75 | 3.5 4.5 | — | — | — | — | 0.1 | 0.4 |
| 7年生 | 0.08 | 0.25 | 0.03 | 0.015 | 0.30 | — | — | 0.12 0.25 | — | 0.12 0.25 | — | 0.1 | 0.4 |
| 9年生 | 0.08 | 0.15 | 0.03 | 0.015 | 0.25 | 2.5 3.5 | 2.0 3.0 | — | — | — | — | 0.1 | 0.4 |
| グループ11 | 0.08 | 0.18 | 0.03 | 0.15 | 0.2 | — | — | 0.12 0.25 | — | — | — | 0.1 | 0.4 |
| 12 年生 | 0.08 | 0.25 | 0.03 | 0.15 | 0.3 | — | — | — | — | 0.6 0.9 | 0.2 0.4 | 0.1 | 0.4 |
| 16 年生 | 0.08 | 0.25 | 0.03 | 0.15 | 0.3 | — | — | 0.04 0.08 | — | — | — | 0.1 | 0.4 |
| グループ23 | 0.08 | 0.13 | 0.03 | 0.125 | 0.25 | 5.5 6.5 | 3.5 4.5 | — | — | — | — | 0.1 | 0.1 |
♦チタン合金物理的特性 ♦
| 学年 | 物理的特性 | |||||
| 抗張力 分 | 降伏強さ 最小 (0.2%、オフセット) | 4D での伸び 最小 (%) | 面積の削減 最小 (%) | |||
| クシ | MPa | クシ | MPa | |||
| グループ1 | 35 | 240 | 20 | 138 | 24 | 30 |
| 2年生 | 50 | 345 | 40 | 275 | 20 | 30 |
| グループ4 | 80 | 550 | 70 | 483 | 15 | 25 |
| グループ5 | 130 | 895 | 120 | 828 | 10 | 25 |
| 7年生 | 50 | 345 | 40 | 275 | 20 | 30 |
| 9年生 | 90 | 620 | 70 | 483 | 15 | 25 |
| グループ11 | 35 | 240 | 20 | 138 | 24 | 30 |
| 12 年生 | 70 | 483 | 50 | 345 | 18 | 25 |
| 16 年生 | 50 | 345 | 40 | 275 | 20 | 30 |
| グループ23 | 120 | 828 | 110 | 759 | 10 | 15 |
