チタンプレートターゲット

製品の詳細

チタンターゲット

チタンターゲット: チタン合金のビレット、または板を使用してチタンターゲットに加工します。工業用純チタンは化学用純チタンに比べて不純物含有量が多いため、強度と硬度がわずかに高くなります。その機械的および化学的特性はステンレス鋼と同様です。純チタンはチタン合金に比べて強度が高く、耐酸化性にも優れています。オーステナイト系ステンレス鋼よりも優れていますが、耐熱性が劣ります。TA1、TA2、TA3の順に不純物含有量が増加し、機械的強度、硬度は増加しますが、プラスチック靱性は順に低下します。

• チタンプレートターゲット: グレード1、グレード2、グレード5、グレード5、グレード7、グレード9、グレード11、グレード12、グレード16、グレード23など

• 種類:丸ターゲット、パイプターゲット、プレートターゲットなど

• 寸法:60/80/120(W)×6/8/12(T)×519/525/620(L)&60-800(W)×6-40(T)×600-2000(L)カスタマイズされた

・S表面:光沢面または酸洗面

• アプリケーション: 半導体分離装置、フラットパネルディスプレイ、蓄積電極膜、スパッタリングコーティング、ワーク表面コーティング、ガラスコーティング業界などで使用されます。

チタンプレートターゲット
 チタン合金材料の通称

グループ1

UNS R50250

CP-Ti

2年生

UNS R50400

CP-Ti

グループ4

UNS R50700

CP-Ti

7年生

UNS R52400

Ti-0.20Pd

G9

UNS R56320

Ti-3AL-2.5V

G11

UNS R52250

Ti-0.15Pd

G12

UNS R53400 Ti-0.3Mo-0.8Ni

G16

UNS R52402 Ti-0.05Pd

G23

UNS R56407

Ti-6Al-4V ELI

◆ チタン合金の化学組成 ◆

 

学年

化学組成、重量パーセント (%)

C

(≤)

O

(≤)

N

(≤)

H

(≤)

Fe

(≤)

Al

V

Pd

Ru

Ni

Mo

その他の要素

最大。それぞれ

その他の要素

最大。合計

グループ1

0.08

0.18

0.03

0.015

0.20

0.1

0.4

2年生

0.08

0.25

0.03

0.015

0.30

0.1

0.4

グループ4

0.08

0.25

0.03

0.015

0.30

0.1

0.4

グループ5

0.08

0.20

0.05

0.015

0.40

5.56.75

3.5 4.5

0.1

0.4

7年生

0.08

0.25

0.03

0.015

0.30

0.12 0.25

0.12 0.25

0.1

0.4

9年生

0.08

0.15

0.03

0.015

0.25

2.5 3.5

2.0 3.0

0.1

0.4

グループ11

0.08

0.18

0.03

0.15

0.2

0.12 0.25

0.1

0.4

12 年生

0.08

0.25

0.03

0.15

0.3

0.6 0.9

0.2 0.4

0.1

0.4

16 年生

0.08

0.25

0.03

0.15

0.3

0.04 0.08

0.1

0.4

グループ23

0.08

0.13

0.03

0.125

0.25

5.5 6.5

3.5 4.5

0.1

0.1

チタン合金物理的特性 ♦

 

学年

物理的特性

抗張力

降伏強さ

最小 (0.2%、オフセット)

4D での伸び

最小 (%)

面積の削減

最小 (%)

クシ

MPa

クシ

MPa

グループ1

35

240

20

138

24

30

2年生

50

345

40

275

20

30

グループ4

80

550

70

483

15

25

グループ5

130

895

120

828

10

25

7年生

50

345

40

275

20

30

9年生

90

620

70

483

15

25

グループ11

35

240

20

138

24

30

12 年生

70

483

50

345

18

25

16 年生

50

345

40

275

20

30

グループ23

120

828

110

759

10

15


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